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镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了*的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了*到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的*检测限
对测量结果的*小化背景影响
提供压力高达 10 hPa 的压差型号
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势：
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 *检测极限
对测量结果的*小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数：
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SPM 系统控制 |
BRU 220 |
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电压 |
115-230 V |
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前级泵 |
MVP 020-3 |
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四极控制 |
QME 220 |
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带 SPM 离子源的分析仪 |
QMA 220 |
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探测器 |
C-SEM/Faraday |
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杆系统：材料 |
不锈钢 |
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杆系统：直径 |
6 mm |
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杆系统：长度 |
100 mm |
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检测极限（氩中）：二氧化碳 |
< 100 ppb |
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检测极限（氩中）：氧气 |
< 100 ppb |
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检测极限（氩中）：氮 |
< 100 ppb |
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检测极限（氩中）：水 |
< 3000 ppb |
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检测极限（氩中）：水蒸气 |
< 500 ppb or < 6000 ppb |
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涡轮分子泵 |
带有 TC 110 RS 的 HiPace 80 |
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质量数 |
1-100 amu or 1-200 amu |
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过程压力至 |
1 hPa or 10 hPa or 8hPa |
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连接法兰（入口） |
DN 40 CF-F |
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重量 |
13 kg |
