|
|
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. *低可检测分压 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
*低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
|
型号 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
|
|
检测器 |
法拉第 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
|||||
|
质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
|
|
四极杆直径／长度 |
6 /125 mm |
||||||
|
*小检测极限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
|
|
*小检测极限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
|
|
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
|
|
*大工作压力 F hPa |
5X10-4 |
||||||
|
*大工作压力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
|
|
对临近质量数的影响*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
|
|
操作温度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
||||||
|
操作温度 电子 |
5 – 50 °C |
||||||
|
烘烤温度 分析 |
300 °C |
||||||
|
连接法兰 |
DN 40 CF-F |
||||||
|
保压时间 |
1 ms – 16 s/amu |
||||||
|
重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
|||||
* 1 开放式离子源,
* 2 停留时间 4秒
*3 与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口:
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口:.jpg)
