腔室

材料: 铝
有效尺寸: 700 x 700 x 1200 mm.
容积：490L
舱门: 装有可视窗口
标准样品托盘: 8个    标准尺寸: 620 * 675 mm

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

干式真空泵泵组, 抽速 480 立方米每小时

频射发生器

根据客户应用需求定制

控制系统

PLC 可实现下列功能
17 英寸触摸屏, 自动控制反应过程;
根据处理材料设定不同的处理工艺参数;
测定真空泵压力, 抽真空时间, 充气速度, 工作压力, 处理时间. 温度.频射发生器输入电压等指标;
监测所有的运行指标, 保证各项参数在设定范围之内;
设定操作进入密码.

电源

380V AC, 三相, 50Hz, 40A

反应气体

一个气体输入端口,含气体流量控制器（MFC）

气体输入

直径1/4英寸（6.45mm） 管道, 输入压力:1Bar

尾气排放

直径 28mm 输出端口

性能

急停开关; 真空泵保护锁; 高温保护锁; CE*.