反应舱

材料: 铝
有效尺寸: 1600 x 1350 x 850mm
容积：1836L
舱门: 装有可视窗口
插槽: 4个  尺寸：1000 x 285mm，每个插槽可放多个285 x 756mm托盘

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

干式真空泵泵组

频射发生器

根据客户应用需求定制

控制系统

PLC 可实现下列功能：
自动控制反应过程；
根据处理材料设定不同的处理工艺参数；
测定真空泵压力, 抽真空时间, 充气速度, 工作压力, 处理时间, 温度, 频射发生器输入电压等指标；
监测所有的运行指标, 保证各项参数在设定范围之内;
设定操作进入密码.

电源

380V AC, 三相，50Hz, 63A

反应气体

一个气体输入端口, 含气体流量控制器 MFC

气体输入

直径1/4英寸（6.45mm） 管道；输入压力：1Bar

尾气排放

直径 28mm 输出端口

性能

急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE*。